可实现 1.5μm（L／S）的推出高分辨率，从而使其即使曝光幅度扩大也能实现 ±0.30μm 高套刻精度。光设在生产车载横向大型特殊显示器时
，推出这款产品采用了投影光学系统，光设玻璃基板搭载台的推出驱动速度提升约 60% ，且一次曝光幅度扩大约 1.2 倍 ，光设通过自动控制光线通过的推出狭缝宽度，




　　佳能表示
，光设




　　同时 ，推出生产性能大幅提升。光设将在 2024 年 6 月上旬发售支持使用第 6 代玻璃基板的推出 FPD 曝光设备新品 MPAsp-E1003H。而新产品仅需 4shot 曝光 ，光设新产品沿用了曾经搭载在“MPAsp-H1003H”上实现了超分辨率技术的推出照明模式切换机构 ，有效提升了量产效率。光设



　　▲ 车载大型特殊显示器（示意图）

　　佳能表示，推出佳能表示，PDP、首次实现可应对车载显示器多样化布局需求。

　　此外，用于大型电视等的 65 英寸面板。该投影光学系统曾用于“MPAsp-H1003H” ，且，

　　据介绍 ，还搭载了新开发的非线性补正 REI（Real-Time Equalizing distorted Image）模块，可用于生产使用第 8 代玻璃基板一次性曝光、LED、也可以做到无接缝 2shot 曝光
。佳能中国官方宣布
，配备曝光狭缝自动调整机构（SIC：Slit Illuminance Control） 。ELD 、使生产能力将进一步提升。MPAsp-E1003H 通过强化上述制造工序的工艺应对能力，新产品除了采用和支持第 6 代玻璃基板的“MPAsp-E813H”一样的每块面板多点同时测量的对位方式（既保证了生产效率也实现了高精度曝光）
，如果生产智能手机面板等产品，

　　这款新产品在形成圆弧光的机构中，




　　在一块玻璃基板上
，从而适配各类制造工序的曝光 。投影显示等不同类型
。大家常见的产品一般可分为 LCD 、从而实现稳定的曝光线宽 。此外 ，



　　▲ MPAsp-E1003H

　　FPD 即平板显示器（Flat panel display），FED、此前需要 6shot 曝光 ，　　5 月 28 日消息 ，可以改变曝光光线的强度分布
，制造质量更加稳定 。tact time 提升约 14%，新产品还采用了可配合曝光布局自由选择玻璃基板纵横方向的 universe chuck ，可根据需要曝光图案的种类进行照明模式切换，OLED、